​超精密零件加工在尺寸精度、形狀精度、表麵（miàn）質（zhì）量等多個方麵都有極其嚴格的要求（qiú），以下是具體（tǐ）介紹：
尺寸精度
公差範圍極小：超精密零件的尺寸公差通常被（bèi）控製在微米（μm）甚至納米（nm）級別（bié）。例如（rú），在航空航天領域，一些發動機葉（yè）片的關鍵尺寸公差可能要（yào）求控（kòng）製在 ±5μm 以內；在半導體製造（zào）中，芯片製（zhì）造所使（shǐ）用的光刻掩（yǎn）膜版的線條寬度公差可達到 ±10nm 左（zuǒ）右。
一致性要求高：對於一批超精密零件，不僅單個零件（jiàn）要滿（mǎn）足高（gāo）精度要求，而（ér）且（qiě）零件之間的尺寸一（yī）致性也必（bì）須極高。以手機攝像頭中的微型光學鏡片為例，同一批次鏡片的直徑尺寸（cùn）偏差要控（kòng）製在（zài）極小範圍內，否則會影響攝像頭的成像質量（liàng）。
形狀精度
平麵度：要求零件的表麵平（píng）整度極高，例如，精密光學平麵鏡的平麵度可能要求達到 λ/10 甚至更高（λ 為（wéi）光的波長，通常取 632.8nm），即平麵的起（qǐ）伏偏差在幾十納（nà）米以內。
圓度：像航空發動機的渦輪軸等關（guān）鍵零件（jiàn），其圓度（dù）誤差通常要求控製在 0.001mm 以下，以確保（bǎo）在高速旋轉時的（de）穩定（dìng）性和可靠性。
圓柱度：對於一些高精度的液壓油缸、氣動（dòng）元件等，圓（yuán）柱度要求嚴格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之間（jiān），以保證良好（hǎo）的密封性和運動精（jīng）度。
位置精度
同軸度：在汽車發（fā）動機的曲軸加工中，各軸頸的同軸度誤差一般要求控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會（huì）影響發動機的動力輸出（chū）和穩定性。
垂直度與平行（háng）度（dù）：在精密模具製造中，模具（jù）的上下模（mó）板（bǎn）之間的平行度誤（wù）差通常要求（qiú）控製在 0.05mm 以內（nèi），以保證模具在合模時的精度，從而生產出（chū）高質量的產品。
表麵質（zhì）量（liàng）
表麵粗糙度：超精密零件的（de）表麵粗糙度一般要求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚（shèn）至更低。如（rú）硬盤的磁頭滑塊表麵，為（wéi）了減（jiǎn）少與磁盤（pán）的（de）摩擦和提高讀寫性能，表麵粗糙度（dù）可能達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除（chú）了粗（cū）糙度外，還要求表麵無微觀裂紋（wén）、劃（huá）痕（hén）、毛刺（cì）、氧化層（céng）等缺陷。例如在光學鏡（jìng）片的加工中，表麵任何微小的（de）劃痕或裂紋都可能（néng）導致光線散射，影響光學性能。
材（cái）料性能（néng）一致性
微觀組織均（jun1）勻性（xìng）：零件材（cái）料的微觀組織如（rú）晶（jīng）粒大小（xiǎo）、相組成等要均勻一致。以高強度合金鋼製造（zào）的航空零部件為例，若材料微觀組織不均勻，會導致零件在受力時出現局（jú）部（bù）應力集中，降低零件（jiàn）的整體性能和使用壽（shòu）命（mìng）。
性能穩定性：材料的力學性能、物理性能等要穩定。在電子元器件製造中，用於製造芯片的半導體材料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數必須在嚴格的範圍內，否則（zé）會影響（xiǎng）芯片的（de）性（xìng）能和可靠性。
裝配精度
間隙配合精度（dù）：在機械手表的機芯裝配（pèi）中，齒輪（lún）與軸之間的間隙配合精（jīng）度通常要求控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時精度。
過盈配合精（jīng）度：在汽（qì）車發動機的活塞與活塞銷裝（zhuāng）配中，過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活塞（sāi）與活塞銷之間既能傳遞動力，又能在不（bú）同工況下保（bǎo）持良好的工作狀態。